上海芯畀科技有限公司取得一项名为“蚀刻机用

作者:CMD368日期:2026-02-12浏览:来源:CMD368体育

  

上海芯畀科技有限公司取得一项名为“蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂”的专利

  国家知识产权局信息显示,上海芯畀科技有限公司取得一项名为“蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂”的专利,授权公告号CN223899688U,申请日期为2025年3月。

  专利摘要显示,本实用新型涉及半导体领域,具体涉及蚀刻机用晶圆高速甩动抛动旋转机械臂,机架上设有转轴,转轴的一侧固定安装有第一支撑臂和第二支撑臂,第一支撑臂和第二支撑臂之间可拆卸安装有花篮机构;花篮机构包括沿转轴的轴向相对设置的两个侧板,两个侧板之间活动安装有支撑板,支撑板绕花篮机构转动的轴线均匀间隔设有多个,支撑板沿花篮机构转动的径向滑动安装在侧板上,支撑板与侧板之间设有锁紧机构;通过沿滑槽滑动调节支撑板,从而调节多个支撑板所围成的圆的直径,以便匹配不同尺寸的晶圆使用。

  天眼查资料显示,上海芯畀科技有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1702.5万人民币。通过天眼查大数据分析,上海芯畀科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线条,此外企业还拥有行政许可5个。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。